Edwards 复合涡轮分子泵

Edwards EXT75DX复合涡轮分子泵



性能特点

兼容TIC涡轮仪表控制器。

多种通讯模式。

并口，用于传统控制信号接口。

串口，用于RS-232接口。

通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。

放气阀控制设置。

正常泵速显示。

准备转速显示。

可编程功耗调整。

泵温。

增强型泵速、功耗、温度监测。

技术数据

入口法兰 DN63ISO-K

压缩比

N2 >1 x 10E11

He 1 x 10E6

H2 5 x 10E4

出口法兰 DN16NW

级间口（Hi型） DN25NW

前级泵（推荐） E2M0.7

放气口 1/8 inch BSP

吹扫净化口 1/8 inch BSP

最高入口压力（抽轻气体） *

水冷（水温15°C，大气温度40°C） 2 x 10E-2 mbar

空冷（大气温度35°C） 1 x 10E-2 mbar

额定转速 90000 rpm

工作转速 49500～90000 rpm （缺省 63000 rpm）

转速达到90%所需时间 ** 110 s

冷却方式 空冷/水冷

大气温度（空冷） 5-35 °C

冷却水最低流速（水温15 °C） 15 l/h

水温范围 10-20 °C

入口法兰最高温度 100 °C

工作姿态 垂直

噪音（1m处）

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